Материаловедение/ Товароведение

Трифторид азота
ТФА выпускается разной степени очистки. В микроэлектронном производстве, при плазменном травлении кремниевых подложек применяется ТФА, степень чистоты которого не менее 99,99%. ТФА, содержащий большее количество примесей, применяют на начальной стадии очистки кремниевых пластинок.
ТФА является токсичным веществом, поэтому при его хранении и транспортировке выполняется ряд требований.
Наиболее распространены семь типов контейнеров высокого давления, которые используются основным производителем АРС для перевозки ТФА, включая тубы и тубодержатели, позволяющие транспортировать до 4300 тонн продукта. Материалы изготовления – различные виды стали, никелевые сплавы. Баллоны комплектуются различными типами клапанов, сильно различающимися по цене (например, CGA 330 ~ 40$, CGA 640 ~ 300$).
Трифторид азота при нормальной температуре является не горючим токсичным газом.
Предельно-допустимая концентрация трифторида азота в воздухе зоны производственных помещений 0,5 мг/м3.
Трифторид азота относится ко 2 классу опасности по ГОСТ 1.1.005-88.
Трифторид азота очень опасен при вдыхании, поэтому необходимо создать полную герметичность аппаратуры, а все работы с ним проводить в помещениях с действующей приточно-вытяжной вентиляцией.
Заметное взаимодействие трифторида азота с металлами начинается при температуре свыше 350оС. Газовые смеси трифторида азота с водородом, парами воды, метанолом, аммиаком и другими газами, которые могут окисляться, взрывоопасны при инициировании (искра, открытый огонь). В помещении, где проводят работы с трифторидом азота, запрещается курить и проводить огневые работы.

Мировым лидером в производстве ТФА является американская фирма Air products and Chemicals, Inc. (APC), основанная более 60 лет назад. В настоящее время (2002) APC держит в своих руках не менее половины мирового рынка ТФА, оставаясь лидером также и в поставках других газов и химикатов для электроники и для химической промышленности.
Фирма продолжает выпускать другие перфторкомпаунды, предназначенные для производства полупроводников, но при этом непрерывно наращивает объем производства ТФА, следуя росту потребностей мировых производителей электроники.
\\\\tОбъем продаж АРС в 2001 году составил 5,7 млрд. долларов, из которых 3,9 млрд. долларов приходились на индустриальные газы, а остальное на химикалии и спецоборудование. Поскольку основные покупатели продукции АРС – фирмы, производящие микроэлектронику, колебания конъюнктуры, характерные для рынка электроники и полупроводников отражаются и на динамике годовых продаж АРС. Так, объем продаж продукции компании в первые три месяца 2002 года составил 1,313 млрд. долларов, что меньше по сравнению с 1,534 млрд. долларов, полученными от продаж за аналогичный период 2001 года.
Головной офис АРС находится в штате Пенсильвания (США), а дополнительные офисы и производственные структуры в более чем 30 странах мира. Общая численность сотрудников АРС 17500 чел.
\\\\t50% продукции АРС продается в своем регионе (США), 25% - в Европе, 7% - в Канаде и Латинской Америке, 17% приходится на все остальные регионы.
\\\\tТФА выпускается на основной мощности АРС в США в местечке Hometawn (Пенсильвания), где работает 370 служащих. По итогам рейтинга американского издания Industry/Weeks этот завод признан одним из 25 лучших промышленных предприятий Северной Америки в 2001 году. Одним из критериев высокой оценки послужили хорошо продуманные и реализованные программы утилизации отходов на заводе.
\\\\tКроме того, АРС имеет партнерские и дочерние предприятия по отгрузке (transfill transfill) ТФА за пределами США. Это – заводы в Amagasaki (Япония), Tainan (Тайвань), Shihwa (Ю.Корея), Keumiee (Бельгия).
\\\\tВ 1999 году суммарные мощности по производству ТФА на АРС составляли 988 тыс. фунтов (примерно 450 тонн) в год. Уже к середине 2001 года по данным компании они должны были составить 2400 тыс. фунтов (примерно 1100 тонн) в год, а в первой половине 2002 года 2775 тыс. фунтов (1260 тонн) в год.

Air Products and Chemicals, Inc.
7201 Hamilton Boulevard
Allentown, PA 18195-1501
Phone (800) 654-4567
Fax (800)880-5204

\\\\tОсновные конкуренты АРС на рынке ТФА - японские фирмы КДК (Канто Денка Когё), Мицуи Хемикал Инк. и Central Glass Co., Ltd. На их доли в последнее время приходилось 30- 40% рынка.
\\\\t
\\\\tНаиболее известная из них на Западе - Мицуи Хемикалс Инк. (Mitsui Chemicals, Inc.) – крупнейшая японская химическая компания, основанная в 1947 году, имеющая свои офисы и производственные подразделения в Европе, Китае, Южной Корее, США и странах Тихоокеанского региона. Количество служащих в корпорации составляет 12,8 тысяч.
\\\\t Объем продаж фирмы непрерывно растет. По итогам года, заканчивающегося 31 марта 2001, оборот фирмы составил 940 млрд. йен, из которых 190 млрд. пришлось на продажи вне Японии. Основные зарубежные покупатели продукции фирмы (более 60%) – страны Тихоокеанского региона.
\\\\tТФА производится на двух предприятиях: в Японии в Симоносеки (Shimonoseki Mitsui Chemicals, префектура Yamaguchi) и в США в Адриане (Anderson Development Co., штат Мичиган). Производство в Адриане началось с 1997 года, когда компания Мицуи предоставила своим американским партнерам технологию.
\\\\tПо итогам 2001 года мощности Мицуи Хемикалс позволяли вырабатывать 400 тонн ТФА в год. Запланированные на 2002 год мероприятия по наращиванию мощностей на обоих предприятиях должны позволить увеличить этот показатель до 600 тонн в год.

Mitsui Chemicals, Inc.
Kasumigaseki Bldg., 2-5, Kasumigaseki 3-chome,
Chiyoda-ku, Tokyo 100-6070, Japan,
Tel. 81-3-3592-4060
Fax 81-3-3592-4211

Anderson Development Company
1415 E. Michigan Street
Adrian, MI 49221-3499
Phone: (517) 263-2121
Fax: (517) 263-1000
President Larry Dickinson
Director of Marketing Jack Georgal
jack.georgal@anddev.com

\\\\t
Канто Денка Когё – японская химическая фирма, специализирующаяся на фторорганике, а также выпускающая широкий ряд органических и неорганических химикатов. Традиционно среди продукции фирмы заметное место занимали такие продукты как каустик-сода, порошки железа. Годовые объемы продаж продукции этой фирмы составляли в последние годы 20-22 млрд. йен.
Однако, несмотря на постоянно растущий спрос на ТФА, компания испытывала, начиная с 1999 года, стойкое падение доходов, что заставило менеджмент вплотную заняться реструктуризацией производственной программы фирмы. Наращивание объемов выпуска ТФА остается одним из главных приоритетов компании. В 2001 году производственные мощности по ТФА составляли около 400 тонн в год.
\\\\t
KANTO DENKA KOGYO CO., LTD.
Tokyo Kaijo Bldg. Shinkan, 1-2-1 Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo 100-0005
Japan
Phone (03)3216-4561
Fax Phone (03)3216-4581
http://www.kantodenka.co.jp/index2e.htm
\\\\t
Central Glass Co., Ltd. (CG) основана в 1936 году. Со временем наряду со стеклом и стеклоизделиями стала выпускать также удобрения, соду, органические и неорганические фторированные соединения. Капитал фирмы оценивался в 2001 году в 18,1683 млн. йен.
Представительства фирмы есть на Тайване, в Тайланде, Вьетнаме, Китае и США. Компания располагает тремя заводами (все в Японии), на одном из которых было освоено производство ТФА. По сведениям из пресс-релизов следует, что фирма планировала увеличить проектную мощность ТФА со 100 (1999) до 200 тонн в год. В материалах годового отчета (2001) компании утверждается, что CG – единственная в мире фирма, использующая технологию получения ТФА из фтористой кислоты (HF).

Central Glass Co., Ltd.
Kowa-Hitotsubashi Building, 7-1
Kanda-Nishikicho, 3 chome Chiyoda-ku,
Tokyo 101-0054, Japan
Phone No. (03) 3259-7111
Fax No. (03) 3259-7883
\\\\t
Все остальные фирмы, производящие ТФА, пока находятся в стадии освоения технологии и в силу разных причин иногда сталкиваются с проблемами.
Наиболее известными из компаний «второй линии» мирового ТФА-бизнеса являются Advanced Specialty Gases (ASG, США) и Pelchem (ЮАР), химическое подразделение NECSA, которое организовало производство ТФА в альянсе с BOC Edwards , известным как поставщик интегральных решений в полупроводниковой отрасли. Эти производители каждый в свое время ввели в действие мощности по выпуску ТФА, но в силу разных причин сталкиваются с проблемами.
\\\\t
\\\\tAdvanced Specialty Gases (ASG) – американская фирма, имеющая завод в Дайтоне (Dayton), на котором в конце 90-х было запущено производство ТФА с проектной мощностью 100 тыс. фунтов (50 тонн) в год. Однако 30 июля 2000 года на заводе произошел взрыв, в ходе которого произошла утечка примерно 100 кубических футов ТФА. В настоящее время ASG предлагает к продаже специальные газы, в т.ч. и ТФА. Однако, в то же время есть указания на внешнее, в частности, российское происхождение части реализуемой продукции, в т.ч. и ТФА. (http://www.business.com/directory/chemicals/gases/)

Advanced Specialty Gases
280 B Coney Island Dr.
Sparks, NV 89431
PH: 775-356-5500
FAX: 775-356-5571
asg@advancedspecialtygases.com

Pelchem-NECSA . Технология производства ТФА была приобретена BOC Edwards у АРС. В 2000 году был широко анонсирован старт производственного процесса по выпуску ТФА на предприятии Pelchem-NECSA в ЮАР. В проектировании производства участвовала фирма Main Line Engineering (MLE).Функции маркетинга и реализации продукции, как предполагалось, на себя полностью возьмет BOC Edwards. Планировалось начать производство с четвертого квартала 2000 года, проектная мощность составляла 250 тонн в год. Но сообщение о запуске производственной линии ТФА было опубликовано только в сентябре 2001 года. В сообщении говорилось, что производство в действии и есть все необходимые условия для вывода его на проектную мощность. В пресс-релизах и предложениях для продажи BOC Edwards по-прежнему практически не упоминается такой продукт как ТФА. Хотя на сайте предприятия Pelchem выставлено предложение о продаже ТФА, но на обращения извне с просьбами уточнить стоимость и условия его поставок менеджеры завода отсылают потенциальных покупателей к BOC Edwards.

Pelchem- NECSA
Postal Address: P.O Box 582Pretoria 0001
South Africa
Physical Address: Pelindaba
Church Street Extension West
Pretoria
South Africa
+27-12-305 4550
Tel: +27-12-305 4557
e-mail: cheminfo@aec.co.za

BOC Edwards
One Edwards Park
301 Ballardvale Street
Wilmington, MA 01887-1075
United States
Phone: .978.658.5410
Fax: .978.658.7969
Web Site: http://www.bocedwards.com

Main Line Engineering
Tel: (610) 594-9310 Fax: (610) 594-9311
211 Welsh Pool Rd Suite 120 Exton PA 19341

\\\\t\\\\t
В России мощности по выпуску ТФА были недавно установлены на опытном заводе ГИПХ в п.Кузьмолово Ленинградской области. Технология разработана в России и продукт стандартизован по ТУ 6-02-2-852-85 . Возможные текущие объемы поставок составляют 10 тонн в год, возможные перспективные 15 тонн в год.

ФГУП РНЦ "ПРИКЛАДНАЯ ХИМИЯ" Опытный завод
188663, п.о. Кузьмолово, Ленинградская область
Факс (812) 327-48-21
Тел. (812) 534-90-89

\\\\tЕще один новый азиатский производитель появился в 2002 году в Китае. Линия по производству ТФА была запущена в зоне приоритетного научно-технологического развития Чэнду-Вэньцзян (Chengdu-Wenjiang) в провинции Сычуань (Sichuan province) на базе действующего предприятия China Nuclear Honghua Specialty Gases Co., Ltd., которое является крупнейшим в Китае производителем неорганических фторидов. Завод входит в корпорацию Honghua Industries Corp., которая расположена в той же зоне и занимает площадь в 6.95 гектаров. Стоимость активов компании - 234 миллиона юаней (32,2 миллиона Евро), она производит высокочистые газы - гексафторид серы (1400 тонн – 70% внутреннего рынка КНР), фтор, четырехфтористый углерод. В реализации проекта участвует правительство зоны Чэнду. Рeализация проекта потребует инвестиций в размере 140 миллионов юаней (19,3 миллиона Евро), а стоимость выпускаемой продукции может достичь 200 миллионов юаней в год (27.6 миллиона Евро).
В мае 2002 между руководителями китайской корпорации и фирмой Дюпон было подписано соглашении об инвестировании последней во вновь созданное производство ТФА (Chengdu Beyond Chemicals), которое должно позволить к концу 2003 года нарастить мощности по выпуску ТФА до 150 тонн.
China Nuclear Honghua Specialty Gases Co., Ltd.
Liulin Road, Chengnan Economic Development Zone, Wenjiang, Chengdu, China
PostCode: 611130
Tel: 0086-28-2687885 2687870 2687871
Fax: 0086-28-2687792
hhgasjjz@mail.sc.cninfo.net
http://www.honghuagas.com
Chengdu Beyond Chemicals Co.,Ltd.
610041,Tianxinyuan,No.18,North HongPaiLou St.
Chengdu,
Sichuan,
China
Tel: 0086-28-85060355
Fax: 0086-28-85082015